데일리메디 나노입자 합성 '플라즈마 발생기' 최초 개발

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나노입자 합성 '플라즈마 발생기' 최초 개발


[ 2004년 04월 22일 02시 21분 ]

고기능·고성능 신소재 개발에 필요한 나노(10억분의 1미터) 입자급 초경질 미세입자 코팅이 가능한 플라즈마 발생기기가 국내 처음으로 개발됐다.

중소기업진흥공단은 공단 개발기술지원실 손희식 박사팀과 미국 IAT(The Institute of AdvancedTechnology)의 최원호 박사가 중소기업청 지원 기술개발 프로젝트로 나노 입자 '고출력 플라즈마 발생기'를 공동 개발하는 데 성공했다고 22일 밝혔다.

플라즈마는 아르곤(Ar)·수소(H₂)·산소(O₂) 등의 가스를 표면재질에 따라 단독 또는 혼합, 투입하면서 전기적 에너지를 가하면 가속된 전자의 충돌에 의하여 투입된 가스가 플라즈마 상태로 활성화된다. 이러한 플라즈마 상태에서 발생하는 가스의 이온 또는 라디칼 등이 피처리 재료 표면에 충돌하여 미세유막 제거, 미세 조도 형성 등 표면의 물리 화학적인 변화를 유도하여 각종 접착 밀착력 향상, 각종 코팅 밀착력을 증대시키는 역할을 한다.

따라서 이번에 개발된 플라즈마 발생기기를 향후 기기개발에 응용할 경우 지금보다 수명을 수 십 배까지 연장시킬 수 있는 100nm급 초경질 나노 코팅 공구를 세계최초로 개발할 수 있을 것으로 전망된다.

응용범위가 기기뿐 아니라 마모부품, 센서 및 전자부품, 광학부품 및 코팅, 디스플레이 분야, 열제어 부품 등 다양한 분야에까지 걸쳐 있어 수 조원에 달할 것으로 예상되는 국내·외 시장에 경쟁우위를 점하는 데 큰 기여를 할 것으로 중진공은 기대하고 있다.

또 고출력 마이크로웨이브를 이용해 가스를 고효율로 활성화시켜 개발한 이번 기기는 기존보다 합성 면적과 속도가 월등히 뛰어나고 오염도 발생시키지 않아 환경 친화적인 것으로 평가받고 있다.

중진공 관계자는 "이번 플라즈마 발생기 개발 성공은 국내 취약 기술분야인 장치설계기술에서 독자적인 큰 진전을 이루었다는 데 큰 의미가 있다"며 "중소·벤처기업에 기술 이전확산을 통해 기술혁신에 큰 기여를 하며 제품의 고부가가치화도 선도 할 것으로 기대된다"고 말했다.