|
[µ¥Àϸ®¸Þµð ±èÁø¼ö ±âÀÚ] ½ÄǰÀǾàǰ¾ÈÀüó(óÀå ·ù¿µÁø)´Â ÄÚ¼¼Ã´¿ë ¿°È³ªÆ®·ý(¼Ò±Ý) ºÐ¸», ¾È±¸ ³» ÁÖÀÔ¿ë °¡½º ŰƮ µîÀ» ÀÇ·á±â±â·Î °ü¸®ÇÏ´Â °ÍÀ» ³»¿ëÀ¸·Î ÇÏ´Â ¡¸ÀÇ·á±â±â ǰ¸ñ ¹× ǰ¸ñº° µî±Þ¿¡ °üÇÑ ±ÔÁ¤¡¹À» °³Á¤ÇÑ´Ù°í 31ÀÏ ¹àÇû´Ù.
À̹ø °³Á¤Àº ±×µ¿¾È °ø»êǰ µîÀ¸·Î °ü¸®µÆ´ø ÄÚ¼¼Á¤¿ë ¿°È³ªÆ®·ý(¼Ò±Ý) ºÐ¸», ¾È±¸ ³» ÁÖÀÔ¿ë °¡½º µîÀ» 9°³ ǰ¸ñÀ» ÀÇ·á±â±â·Î ºÐ·ùÇØ ¾ÈÀü °ü¸®¸¦ °ÈÇϱâ À§ÇÔÀÌ´Ù.
±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î »ìÆìº¸¸é ÄÚ ¼¼Á¤ ±â±¸¿Í ÇÔ²² »ç¿ëÇÏ´Â ±Ô°Ý¿¡ ÀûÇÕÇÑ ¿°È³ªÆ®·ý ºÐ¸»Àº ÀÇ·á±â±â·Î °ü¸®µÈ´Ù.
¶ÇÇÑ, ¸Á¸·¹Ú¸® Ä¡·á¸¦ À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â °úºÒÈÇÁ·ÎÆÇ(C3F8), À°ºÒÈȲ(SF6), Ç÷ç¿À¸°(C2F6) µîÀÇ °¡½º¸¦ ÁÖ»ç±â µî°ú ÇÔ²² ‘¾È±¸³»ÁÖÀÔ¿ë°¡½ºÅ°Æ®’·Î ½Å¼³ÇÑ´Ù. ´Ü ¿ë±â¿¡ °¡½º¸¦ ÀçÃæÀüÇØ »ç¿ëÇÏ´Â Á¦Ç°Àº Á¦¿ÜµÈ´Ù.
À̹ۿ¡ ±âÁ¸ ‘¼ö¾×ÆßÇÁ¿ë¼ö¾×¼¼Æ®’¿¡ »õ·Î¿î ±â¼ú(½Ç¸°´õ ¹æ½Ä)À» Àû¿ëÇØ ¼ö¾×À̳ª ÀǾàǰÀ» ´õ¿í Á¤¹ÐÇÏ°Ô ÁÖÀÔÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÑ Á¦Ç°À» ‘½Ç¸°´õ½ÄÀǾàǰÁÖÀÔÆßÇÁ’·Î ºÐ·ùµÈ´Ù.
½Ä¾àó´Â “¾ÕÀ¸·Îµµ ¾ÈÀü °ü¸®´Â °ÈÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ÀÇ·á±â±â °³¹ßÀÚ, ¾÷üµéÀÌ È°¹ßÈ÷ ÀÇ·á±â±â¸¦ ¿¬±¸·°³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Á¦µµ °³¼± ¹× ±â¼ú Áö¿ø µî Àû±ØÀûÀ¸·Î Áö¿øÇÒ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù. |